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光学薄膜セミナー

講演内容 (2015年実績)


【TF-1】コース
最新の機能性薄膜生産装置

11月17日(火) 10:20-11:15

株式会社オプトラン 並木 恵一


光学薄膜フィルター製造を支える基盤技術は積層技術であり、この応用には電気、化学、機械特性を付加した機能性薄膜が挙げられる。例えば、タッチパネルや眼鏡には反射防止コーティングが必要だが、この光学特性に加えて、硬質、耐スクラッチ性、防汚性が求められており、この多機能性を同時に満たすためには、材料だけでなく、製造法の特徴を把握し、両者を上手く組み合わせる必要がある。
他の機能膜の例としてLEDが挙げられる。LEDは多層膜からなる光・半導体デバイスであることから、光学技術の立場から光出力に貢献できると考えている。
本講演では、LEDを例にとり、製造装置の基本原理を説明し、得られた成果を紹介する。

★難易度:入門程度(大学一般教養程度)
 
【TF-2】コース
PVD成膜技術の新展開 〜光学薄膜、有機薄膜を中心として〜

11月17日(火) 11:30-12:25

株式会社シンクロン 宮内 充祐


光学薄膜や防汚膜はPVDを中心に成膜技術としては成熟、現在は様々なアプリケーションに対する量産性 (生産性、低コスト化など)の要求をいかに実現するかが重要なフェーズにある。今後更なるPVDの応用を広げるためには、新しい成膜技術が望まれる。
本講演では、我々が開発した光学薄膜および防汚膜をはじめとする有機薄膜の新しい成膜技術を紹介する。開発した成膜技術により、従来の成膜方式、装置ではできなかった高品質な膜を実現するとともに、生産性の飛躍的な向上も可能となる。

★難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
 
【TF-3】コース
光学薄膜を必要とする光学部品とアプリケーションの最新動向

11月17日(火) 13:10-14:05

株式会社昭和真空 瀧本 昌行


光学薄膜を必要とする部品は年々増加しております。現在市場を牽引しているアプリケーションはスマートフォンですが、近年LEDや自動車にも光学薄膜は積極的に活用されはじめております。スマートフォンのカメラモジュール用レンズは薄型化に伴ない複雑な形状となり、より高度な成膜技術が必要となってきている上にデュアルカメラ化への移行が予想され、大幅な増産が期待されております。また、自動車には多くのカメラモジュールが搭載され、ナイトビジョン用赤外線カメラやHUDなどこれから広く普及する部品が量産され始めております。さらに今後大きな成長が期待されるHMD用光学部品は極めて形状が複雑かつ大型であり新しい技術が必要になると考えられます。
 これらの新しい光学関連部品の技術概況や市場概況、また今後の動向について昨年度の公演内容に加えてお話させて戴き、光学薄膜関連業務に携わる方々の今後の開発テーマ検討などに少しでもお役に立てればと思います。
 
【TF-4】コース
赤外透過カルコゲナイドガラス材料

11月17日(火) 14:20-15:15

株式会社五鈴精工硝子 末次 竜也


 カルコゲナイドガラスは、カルコゲン元素である硫黄、セレン、テルルの化合物を主成分とするガラスである。これらのガラスは、酸化物ガラスと比較して低い振動エネルギーを持つことから、赤外線透過材料として利用されている。
 赤外透過材料として利用されているカルコゲナイドガラスは、ガラス化しやすい観点から、セレン、ヒ素等毒性の強い元素が主に使用されている。しかし弊社は、方針によりこのような毒性の強いカルコゲナイドガラスは使用しないという方針から、硫黄と毒性が比較的弱いアンチモンを使用し、Ge-Sb-Sn-S系のカルコゲナイドガラスを開発した。一方、赤外カメラは、大気の窓よばれる波長帯(8〜13mm)を使用する。赤外線透過材料もこの波長帯を透過する必要があるが、Ge-Sb-Sn-S系カルコゲナイドはGe-Oの吸収により透過波長が11mmまでであり、赤外線カメラで使用する赤外材料としては使用しづらいことがわかり、この問題を解決するためにゲルマニウムフリーでかつ有害物質を含有しないカルコゲナイドガラスの組成開発をおこなわれている。
 本公演では、カルコゲナイドガラス、特に市場に流通している組成系を中心に講演する。また、最近の研究動向としてGeフリーのカルコゲナイドガラスについても併せて紹介する。

★難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
   
【TF-5】コース
各種光学薄膜の材料選択や注意点について

11月17日(火) 15:30-16:25

メルク株式会社 山口 尚暁


真空蒸着法は薄膜の生産に使用され、多くの工業分野で採用されています。光学分野では、レーザーミラー、干渉フィルター等の製造に100層を越えるような高度なコーティングが用いられ、反射防止膜コーティングは眼鏡レンズ、高機能サングラス、カメラ双眼鏡等に応用されています。また最近ではアプリケーションによって、様々な耐久性が求められております。特に紫外や赤外領域では材料の選択が限られ、高耐久な膜を作成するために、蒸着材料や蒸着手法の選定が重要です。本講演では、反射防止膜や各種フィルターの基礎について述べ、それを基に具体的な設計例、設計上顧慮すべき各種薄膜の応力挙動や、注意点について、各種混合物材料の使用例を含めてご紹介致します。

★特にお勧めしたい聴講対象者:
 *光学薄膜コーティング業務に携わって1、2年程度の方
   
【TF-6】コース
高精度表面形状計測とアプリケーション

11月18日(水) 10:20-11:15

株式会社日立ハイテクサイエンス 石橋 清隆


近年、電子部品や高機能材料、精密加工部品などの開発・製造・品質管理の現場では、数ナノメートルから数十ナノメートルの微小な粗さや形状の測定が求められている。
日立ハイテクサイエンスで新たに取り扱いを開始した走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」は、微小粗さ、形状および膜厚の三次元測定を非接触・非破壊で行うことができる表面観察装置で、以下のような特長を有する。
1.従来相矛盾するとされてきた広い観察範囲と高いZ分解能の同時測定を光干渉方式の採用により非接触にて実現、0.01ナノメートルの垂直分解能(Sq分解能)で、三次元(面+高さ)の微小な粗さ・形状計測を数秒から10秒程度の短時間で測定が可能。
2.ISO25178表面性状(面粗さ測定)に準拠した表面粗さ測定により、線から面への評価手法の展開をサポート。
3.透明な多層構造フィルムの膜厚測定が可能で、従来困難であった界面にある異物、はがれなどの情報も確認することができる。
4.複数座標ポイントの連続自動測定等による画像連結が可能。より広視野の測定が行えます。
日立ハイテクサイエンスでは従来から販売している走査型プローブ顕微鏡(SPM)、走査電子顕微鏡(SEM)といった表面観察装置ラインアップに今回、走査型白色干渉顕微鏡が加わったことで、シナジーを活かした表面観察ソリューションによる最新アプリケーション及びリンケージシステムについて御紹介致します。

★難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
 
【TF-7】コース
紫外可視近赤外分光光度計を用いた固体材料評価の基礎と応用

11月18日(水) 11:30-12:25

日本分光株式会社 鈴木 仁子


紫外可視近赤外分光光度計に関する固体材料の正しい測定方法、および最先端の測定事例とその測定テクニックをご紹介します。
 固体材料の正しい測定方法では、分光光度計の基礎についてお話し、より理解を深めて頂くとともに、固体材料に関する透過・反射測定、偏光測定、粉体測定などについてお客様から多く頂くご質問を紹介し、正しい測定方法や測定における注意点とその理由をお話します。
 また、最先端のアプリケーションと測定テクニックでは、低反射率のARコートの反射率測定など、近年お客様からのご要望が増えている測定について、最新の測定システムと測定手法を紹介します。

★難易度:初級程度(理系大学程度、分光光度計を使用された事がある方)
 
【TF-8】コース
FTIRを用いて中赤外領域の透過率を正しく測定するための方法

11月18日(水) 13:10-14:05

株式会社パーキンエルマージャパン 大西 晃宏


現在市販されている中赤外領域の分光装置のほとんどはフーリエ変換型(FT)である。しかしFT式では光学系の構造上、真の透過率を計測することができない。
本講演では、通常のFTIRが真の透過率を計測できない理由、真の透過率を測定するための光学材料専用FTIRの原理を説明する。

★難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
 
【TF-9】コース
マイクロスクラッチ法による光学薄膜の「密着性」評価試験

11月18日(水) 14:20-15:15

株式会社レスカ 宝泉 俊寛


光学薄膜を中心に各種薄膜の「密着性」評価試験法について紹介します。
クロスカット法・引き剥がし法・切削法・スクラッチ法等の密着性評価試験法は、それぞれはく離を生じさせるために界面へ与える応力が異なります。このため、密着性評価試験は対象となる基材や膜材及び膜厚や使用環境等を踏まえた選択と、測定痕観察による破壊様式と測定結果を一対に考察する必要があります。
本発表では、各試験方法の概要から、JIS R 3255(ガラスを基板とした薄膜の付着性試験方法)に規定されたマイクロスクラッチ法を用いた、基材硬度・膜厚・環境温度・レンズ曲率・成膜条件等が「密着性」に及ぼす影響を評価した結果と破壊様式から、マイクロスクラッチ法=密着性評価そのものでない点を暴露し、マイクロスクラッチ法を用いた評価における考え方と注意点を紹介いたします。
 
【TF-10】コース
設計ソフトによる光学薄膜最適化設計実務入門

11月19日(木) 10:20-11:15

有限会社ケイワン 鬼崎 康成


光学薄膜設計の入門者を対象に、光学薄膜の最適化設計する場合に最初に準備すべきこと(基板データ、単層膜データ取得、膜厚補正係数取得)、最適化設計時に考慮すべきこと(バラツキ、層数、使用する材料の種類、薄い層の除去)に加え、最適化で用いられるNeedle法、光学式膜厚モニタリング、および、設計と成膜結果の差異分析等の実務面を光学薄膜設計ソフトウェアー「OptiLayer」の計算結果を使用して説明します。

★難易度:一般的(高校程度、一般論)
 
【TF-11】コース
光学薄膜の設計基礎理論

11月19日(木) 11:30-12:25

株式会社オプトグリーン/宇都宮大学 生水 利明


本講演では広範な分野で利用されている光学薄膜を製品化する上で必須な光薄膜の設計基礎理論について反射防止膜を中心に紹介する。
反射防止膜は光学薄膜の中で最大のニーズを有しておりレンズ等の光学部品には必須であり、最近ではディスプレー等の視認性向上技術としても欠かせないものとなっている。

★難易度:入門程度(大学一般教養程度)
 
【TF-12】コース
光学薄膜の膜応力と光学系へ与える影響

11月19日(木) 13:10-14:05

東海光学株式会社 杉浦 宗男


高度に研磨された基板を用意しても、成膜すると膜応力により基板が変形します。1世紀以上前から知られ研究されてきた内容ですが、今日、高性能化が進む光学薄膜製品において、ますます重要な問題になっています。一見、平坦に見える光学薄膜フィルターやミラーの表面が、実際はどのようになっていて、光線へどのような影響を与えるのか。
光学系を構築する上で重要な点のひとつです。
本講演では、そのイメージを持って光学薄膜製品をお使い頂けるよう、実際の測定例を示しながら基板変形の様子や注意点などをご紹介致します。

★難易度:入門程度(大学一般教養程度)
 
【TF-13】コース
光学薄膜の外観および各種特性の評価

11月19日(木) 14:20-15:15

東海大学 室谷 裕志


 最近の光学製品、特にデジタルカメラや携帯電話・スマートフォンのカメラ等の撮像製品において、そのセンサーの高感度化が進んでいます。銀塩カメラの時にはフィルムの感度はISO1600程度が最大でありましたが、デジタルカメラに使われるCMOSやCCDセンサーではその感度がISO換算で12800などになるものもあります。また、その画素数は3000万画素を超えるものでてきています。この様な光学製品に用いられる光学薄膜に求められる特性もより高度なものとなってきています。
 光学薄膜は分光特性が仕様を満たすことは当然ですが、高度化した製品の中で用いられるときには、外観品質も重要になってきます。また、製品の薄化や光学薄膜の層数の増加に伴う薄膜の機械的特性(応力や硬度など)を制御しての成膜技術も重要となってきています。
 異物、白濁などの外観品質や応力、硬度などの機械的特性については、成膜条件などの成膜プロセスだけでなく、基板の表面状態、洗浄工程などの製造工程の影響を考慮する必要があります。また、検査工程で見つけることができなければ、製造工程へのフィードバックもできません。
 本セミナーでは、光学薄膜の外観欠陥や機械的性質について分析方法の実例を踏まえて、データの解析、方法、注意点等をご紹介いたします。

★難易度:一般的(高校程度、一般論
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