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<用語解説>

斜入射照明超解像 Super Resolution with Off-Axis Illumination

 入射瞳の中心部を使わず周辺部からを入射させる方法で輪帯照明や偏斜照明がある。輪帯照明はレンズの入射瞳径よりも小さな遮板を設置し、位置で輪帯状にが通るようにした照明方法。0次回折を使わず1次以上の回折結像させるので回折限界以上に解像力が上がる。偏斜照明も同様で、遮板で入射瞳の一部を覆って片側照明する。解像度が上がり立体的に観察できる。を覆う代わりにコンデンサーレンズをずらしてを斜めから入射させる方法もある。

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