ようこそゲストさん
[新規登録はこちら]
<用語解説>

多重露光超解像 Multiplex Exposure Super Resolution

 複数回露光することにより回折による解像限界を超えた高い解像を得る方法。結像面をわずかにずらして複数回露光する方法やパターンを変えて複数回露光する方法がある。リソグラフィーではパターンを二つのマスクに分割して偏光照明で90度回転して2回露光する方法が知られている。さらに45nmおよび32nm以下のパターニングを狙って二重露光とエッチングプロセスの開発や、二重露光用の特殊な二子吸収レジストなどの開発により2倍の解像度を得る方法が研究されている。

※ 『レンズ辞典』用語は、どなたでもご覧頂けます。
※ 『レンズ事典』用語は、弊社出版書籍『レンズ辞典&事典』をご購入された方のみの特典となります。
 ご購入者で閲覧をご希望の方は 新規登録フォームよりユーザ登録をしてください。

レンズ辞典&事典とは?

レンズ辞典・事典

Webと密接にリンクさせた新世代の辞典&事典です。初心者の方には懇切丁寧に、専門家には困った時の頼みとして役立つ、わかりやすく詳細な内容です。本の内容をすべてWebで見ることができます。Web版には多くのリンクが張ってあり、説明を読んでわからないキーワードは、他の辞典項目や事典項目へジャンプして、その中身を理解することができます。

辞典項目は約800、最低限の数式や図表を含み、簡潔にキーワードが説明されています。事典項目は約150、重要なキーワードを1〜2ページ割いて丁寧に説明しています。辞典項目はどなたでも見ることができますが、事典項目は、本を購入した方のみ見ることができます。

(株)オプトロニクス社

〒162-0814 東京都新宿区新小川町5-5 SANKENビル
TEL(03)3269-3550 / FAX(03)3269-2551

※間違い電話が多くなっております。番号をよくご確認の上ダイヤルをお願いいたします。