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<用語解説>

ハーフトーンマスク Attenuated Phase Shift Mask

 半導体マスクの遮部をわずかにが透過するようにし、その遮部からの透過位相開口部の位相と180度ずらすようにしたマスク。ハーフトーン位相シフトマスクとも言う。位相を反転させることによりエッジ強調効果をもたせることができ、透過部の強度分布の幅を狭くすることができる。通常の位相シフトマスク開口部で一つおきにシフタを設けて、シフタ部の位相を反転させているが、ハーフトーンマスクは遮部が位相シフタになっている。シフタ部はわずかにを透過するため、ウエハ上で若干の強度を持つが、レジストには影響を与えない程度の大きさである。主にコンタクトホールのマスクに用いられている。

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