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<用語解説>

フィゾー干渉計 Fizeau Interferometer

 レーザなどを源とし、発散レンズとコリメータレンズとで光束径を拡大し、光軸に対して垂直に配置した透明な平行平面板(参照面)からの反射と、被検面からの反射とで干渉縞(等厚の干渉縞)を生成する干渉計。発散レンズとコリメータレンズとの間にビームスプリッタを置いて光路を分割し、参照面と被検面からの反射により生成された干渉縞をレンズで投影し、スクリーンあるいは撮像素子を用いて観察する。参照面に対する被検面の形状の差(誤差)を観察することができる。球面を測定する場合には、平行平板の代わりに球面レンズを参照面として用い、収束を被検面に入射させ、球面レンズの表面での反射と被検表面の反射により干渉縞を生成する。レンズの透過波面の測定も可能である。

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