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<用語解説>

液侵レンズ Innersion Lens

 開口数を大きくして解像力を上げるために、像空間を高屈折率の液体で満たしたレンズ。顕微対物レンズステッパなどに用いられている。顕微対物レンズでは、カバーガラスと同じ屈折率の(エマルジョン)オイルが用いられ、対物レンズカバーガラスの間をこのオイルで満たすことにより、これらの間で屈折を生じさせず、解像力を高くすることができる。油浸レンズと呼ばれることもある。ステッパでは純水が用いられ、同様にして像側光線開口数を高くすることができ、解像力が高くなる。

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