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(株)オプトロニクス社

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 月刊OPTRONICSでは2010年2月号において「インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用」と題する特集を企画・掲載いたしました。本特集は多くの読者の皆様から多大な反響をいただき、同年9月には、特別セミナーを開催し、多数ご参加いただきました。その後もインプリントリソグラフィ技術は日進月歩の勢いで著しく進展しています。
 そこで弊誌ではこのインプリントリソグラフィ技術の最新動向と実際の産業界での個々の事業化、実用化事例などを実践的にご紹介する特別セミナーを開催いたします。当分野を代表する講師陣をお招きして開催する本セミナーは、広く多数の関連研究開発・技術者の皆様に大変有意義な機会をご提供いたします。
 皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

会期・会場

2011年10月28日(金) 10:10〜17:30 (受付9:30〜)
東京・四ツ谷 主婦会館プラザエフ 4F シャトレ

プログラム

講演1
10:10〜11:10
インプリントリソグラフィ技術の最新事情
中尾 正史 氏
(独)情報通信研究機構 神戸研究所

<講演要旨>
インプリントリソグラフィ技術の最近の動向について触れた後、NICTにおける最新の研究開発成果を紹介する。具体的にはUVインプリント技術とリフトオフ技術を融合させた各種基板へのメタルパタン形成とその応用の検討、エキシマ光によるモールド再生技術など、独自開発技術を詳細に紹介する。
講演2
11:15〜12:15
ナノインプリント装置開発および応用事例
−レンズ,光学フィルム等の転写事例から,高輝度LED,ウエハレベルレンズ,太陽電池といった応用事例まで−

小久保 光典 氏
東芝機械(株)ナノ加工システム事業部

<講演要旨>
低コスト微細構造形成技術である,ナノインプリント成形技術の概要について紹介するとともに,装置の開発状況,デバイス製造への適用状況について説明する。
ナノインプリント装置に関しては直押し方式の微細転写装置に加え,大面積化・高スループット化へのアプローチとして注目されているRoll to Roll方式の装置開発状況について説明し,両インプリント装置による転写成形例と対象デバイス事例の紹介を交えて,現状と今後の展望について述べる。
12:15〜13:05 <昼休み>
講演3
13:05〜14:05
インプリントモールド作成及び基板転写のためのドライエッチング技術
加々見 丈二 氏
神港精機(株) 装置事業部 電子デバイス技術部 開発課

<講演要旨>
インプリント技術において、モールドからの離型性は非常に重要な要素である。この離型性に関わる大きな要因の一つにモールドの加工形状が挙げられる。この加工形状を形成するために、必要な技術の一例として、ドライエッチングについて本講で紹介する。 また、インプリントで形成されたパタンのドライエッチング加工例についても紹介する。
講演4
14:10〜15:10
UVインプリント樹脂の開発とその適用性
三宅 弘人 氏
(株)ダイセル 研究統括部 コーポレート研究所

<講演要旨>
ナノインプリントの概要とUVナノインプリントの直面する課題を明確にすると共にその対策に関して弊社取り組みを交えながら紹介する。また、最近の適用例等を挙げながら本技術の可能性を考える。
15:10〜15:25 <休憩>
講演5
15:25〜16:25
光デバイスへのインプリント技術の応用
小山 二三夫 氏
東京工業大学 精密工学研究所 フォトニクス集積システム研究センター

<講演要旨>
熱ナノインプリントによるサブ波長構造光デバイスの製作とその応用について紹介する。ナノインプリントとドライエッチングによるSiサブ波長高屈折率差回折格子製作とその高反射率反射鏡/レーザ・フィルタへのデバイス応用,ナノマシニングによる金型製作と光デバイスへの立体加工についても言及する。
講演6
16:30〜17:30
フィルムへの極微細構造の形成とデバイス応用
宮内 昭浩 氏
(株)日立製作所 日立研究所 材料研究所

<講演要旨>
フィルムへの微細構造の形成は,ロール加圧方式による構造の連続成型が量産化に向いている。本講演では,最小25nmの極微細構造をフィルム表面へ連続形成する装置・プロセス技術を紹介する。また,微細構造の応用例として,免疫分析チップの高感度化や再生医療や創薬への適用が望まれている細胞培養を紹介する。
※上記プログラムは2011年9月8日時点のものです。予告なく変更される場合もございますので、予めご了承下さい。

受講料・申込方法 他

受講料 一般:\33,550 (税、月刊OPTRONICS 1年間定期購読料込)
月刊OPTRONICS 定期購読者:\22,000 (税込)
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定員 60名(定員になり次第締切)
申込締切日 2011年10月25日(火)
申込方法 当ページ下部のお申込みフォームより、必要事項をご入力の上お申込み下さい。
受付が完了しましたら、受講票と請求書を郵送致します。開催前までに所定の口座に受講料をお振込み下さい。
キャンセル
規程
お客様のご都合による受講解約の場合、10/5(水)までは受講料の50%、10/6(木)以降につきましては受講料の全額を解約金として申し受けます。
主催 月刊 OPTRONICS
お問合せ (株)オプトロニクス社 担当:宇津野
Tel:(03)3269-3550 E-mail:utsuno@optronics.co.jp

定員に達しましたので申込みを締切らせていただきました。