セミナー/用語

お問合せ
(株)オプトロニクス社

TEL(03)3269-3550
FAX(03)5229-7253

 

*間違い電話が多くなっております。番号をよくご確認の上ダイヤルをお願いいたします。

 インプリントリソグラフィ技術は日進月歩の勢いで著しく進展しており、弊誌では2010年以降毎年特別セミナーを開催し、技術の最新動向を読者の皆様にご紹介してまいりました。今回は最近注目されているPDMS/樹脂モールドを使ったUVインプリント技術に焦点を当て、離型技術を含んだモールド作製技術、樹脂材料、及び転写技術から最先端の応用までを実践的にご紹介する特別セミナーを開催いたします。
 本テーマの研究開発に携わる責任者を講師陣にお招きして開催する本セミナーは、広く多数の関連研究開発・技術者の皆様に大変有意義な機会をご提供するものであります。
 皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

会期・会場

2013年12月4日(水) 13:00〜17:15(受付12:30〜)
東京・四ツ谷 主婦会館プラザエフ4F「シャトレ」

プログラム

講演1
13:00〜13:45
最新のインプリントリソグラフィ技術
中尾 正史 氏
(株)デアネヒステ/東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

<講演要旨>
この数年間で開発してきたUVインプリント技術を用いた大面積微細メタルパタン作成技術を紹介するとともに、インプリント技術をナノリソグラフィとして一般化/普遍化する可能性を有するPDMSモールドを介した転写技術に関してもその微細化の可能性について言及する。
講演2
13:50〜14:35
ハロゲンフリー離型技術
熊澤 和久 氏
日本曹達(株)千葉研究所

<講演要旨>
ナノインプリントで主に使用される離型剤は、フッ素を含むものがほとんどである。本講演では、フッ素を含まない離型処理技術とその効果について紹介する。
講演3
14:50〜15:35
インプリント用レジストの種類とその特徴
三宅 弘人 氏
(株)ダイセル 研究統括部 技術企画グループ

<講演要旨>
反応メカニズム及び材料系から見た各種インプリント用レジストの本質的な特性の違いを説明し、それぞれの特徴を生かした適用方法について紹介する。
講演4
15:40〜16:25
樹脂モールドを用いたUVインプリント技術
宮内 昭浩 氏
(株)日立製作所 日立研究所

<講演要旨>
樹脂モールドはシリコンやニッケルなどのsolidな型から複製を取り,製造する。樹脂自体が柔らかいため,基板の反りや異物に対する追従性に優れている。本講演では,50nm級の微細構造をウエハ表面に形成した光学部品への応用を例に最新技術を紹介する。
講演5
16:30〜17:15
PDMSモールドを用いた各種応用事例の紹介
大井 秀雄 氏
(株)協同インターナショナル 川崎イノベーションセンター

<講演要旨>
PDMS(ポリジメチルシロキサン)=シリコーンゴムをモールドに用いたナノインプリント法は古くから知られており、非常に簡便なプロセスであることが魅力となっている。当社においてはPDMSを用いた各種試作から量産までを行っておりその応用事例をご紹介させていただく。

※上記プログラムは2013年10月15日時点のものです。予告なく変更される場合もございますので、予めご了承下さい。

受講料・申込方法 他

受講料 ・月刊OPTRONICS 定期購読者:\15,000 (税込)
・一般:\26,550 (税、月刊OPTRONICS 1年間定期購読料込)
※ 定期購読を今すぐお申し込みいただければ、上記定期購読者料金を適用いたします。
 月刊OPTRONICSの購読お申込はコチラ
−−−ただいま特別割引で受付中!−−−
・月刊OPTRONICS 定期購読者:\15,000\12,000 (税込)
・一般:\26,550\23,550 (税、月刊OPTRONICS 1年間定期購読料込)
−−−【複数申込割引】−−−
お申込み二人目以降は、月刊OPTRONICS定期購読者の料金を適用させていただきます(同一企業の方に限ります)。
定員 60名(定員になり次第締切、ただし開催1週間前までに最少催行人数10名に達しない場合は開催中止にすることがあります。)
申込方法 当ページ下部のお申込みフォームより、必要事項をご入力の上お申込み下さい。
受付が完了しましたら、受講票と請求書を郵送致します。開催前までに所定の口座に受講料をお振込み下さい。
キャンセル
規程
お客様のご都合による受講解約の場合、11/20(水)までは受講料の50%、11/21(木)以降につきましては受講料の全額を解約金として申し受けます。
主催 月刊 OPTRONICS
企画協力 (株)デアネヒステ
お問合せ (株)オプトロニクス社 担当:宇津野
Tel:(03)3269-3550 E-mail:utsuno@optronics.co.jp