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 紫外線技術の応用分野は幅広いものがありますが,どこにどのようなニーズがあるのかを把握するのは容易ではありません。2017年3月1日に開催するセミナーでは,応用面から紫外線市場を探ることを目的に企画しました。題して「紫外線市場を考察!応用の方向性を探る」です。
 本セミナーではUV光源開発の現状と今後を解説し,応用として加工,半導体,医療にスポットライトを当て,それぞれの動向と今後の方向性を語っていただきます。UV技術・市場の理解を深めていただくともに,参加者の皆さまの活発な議論を期待しています。

会期・会場

2017年3月1日(水) 10:30〜17:00(受付10:00〜)
主婦会館プラザエフ 3F コスモス(東京・四谷)

プログラム

10:30〜11:40 UV光源
理化学研究所 和田智之 先生
<講演要旨>
UVレーザー/DUVレーザー光源を中心にその現状と,自動車産業を含むその応用展開の可能性を解説
昼休み(11:40〜12:50)
12:50〜14:00 加工応用:紫外レーザープロセシングで何ができるのか?
九州大学 池上 浩 先生
<講演要旨>
紫外レーザーとは,言うまでもなく波長約380 nm以下のレーザーのことであり,その短波長,高光子エネルギー,高輝度,高指向性を利用して,微細加工,薄膜アニール,ウエハリフトオフ,表面改質・剥離,レーザー蒸着,前方転写など様々なプロセシング分野での活用が期待されている。
これら優れた特性を有する一方で,紫外レーザープロセシングはプロセスコストが高く,安定性・信頼性に乏しいといった見方が強く,特に日本では生産技術導入に対して慎重な姿勢をとる傾向が強いと感じている。
近年,紫外レーザーの信頼性向上,高出力化,パルス幅選択性,制御性の進歩は凄まじく,そのプロセシングにおいてもULSIのリソグラフィー工程,FPDの薄膜アニール,照明や情報端末などの電子機器微細加工では既に大きな市場を獲得しており,今後,ワイドギャップ半導体,フレキシブルデバイス,3D-ICなどの新たなデバイスの普及にともない,その規模・工程数はともに拡大していくと予想している。
本セミナーでは,「紫外レーザープロセシングで何ができるのか?」をテーマに,紫外レーザープロセシングの特徴と現状工程を紹介し,特にレーザーアニールと微細加工分野に関する将来の発展性について説明する。
14:05〜15:15 半導体応用
産業技術総合研究所 板谷太郎 先生
<講演要旨>
リソグラフィープロセスなど半導体分野におけるUV応用の現状と今後の方向性を解説
15:20〜16:30 医療・農業応用:深紫外LED光源の医療応用・農業応用の可能性
(株)タムラ製作所 森島嘉克 先生
理化学研究所 平山秀樹 先生
<講演要旨>
紫外線は波長400nm〜315nmのUV-A、315nm〜280nmのUV-B、280nm未満のUV-Cと分かれていて、様々な用途で利用されている。それらのうち、UV-A領域では、主な応用用途として工業用の紫外線硬化が挙げられている、各LEDメーカーから水銀ランプの輝線に対応したハイパワーLEDが発売され、実用化されている。またUV-C領域においての主な応用用途としては殺菌への利用が挙げられ、こちらについても、高出力のUV-C LEDの開発が進み、既存の他光源からの代替が成されようとしている。
一方、UV-Bの紫外線の領域の用途としては、吸光特性で化学物質を特定・計測する検査計測があるが、それに加え、近年、ナローバンドUV-B光線皮膚治療とUV-B光による光防除(農業用途)という2つの用途が顕在化してきた。前者のナローバンドUV-B療法は、波長310nm付近で半値幅±1nmと非常に狭い帯域の光線を皮膚に照射し、アトピー性皮膚炎などの治療にもちいる療法で、国内の医療機関で普及したのは2000年代初頭である。後者のUV-Bによる光防除効果は2000年代後半に発見され、現在、パナソニックライティングデバイス社よりUV-B蛍光灯を用いた防除システムが販売されている。これらのようにUV-Bの光の応用用途はUV-A、UV-C領域に比べ、新しく、市場規模も今のところ小さいと言える。そのため、この波長帯に対応するLEDは各社とも開発が進んでおらず、さらに材料学的な作成困難度も相まって、市販化されているUVB-LEDは低出力である。それゆえ、これらの用途には、現在、水銀ランプやエキシマランプなどが用いられているが、LED化による長寿命化、波長選択の自由性、水銀フリーなどのベネフィットは、市場規模を急速に拡大させる可能性が高いと考えられる。
現在、理化学研究所平山研究室とタムラ製作所は協同開発契約を結び、ハイパワーUV-B LEDの開発を行っている。平山研究室がもつ、高効率深紫外LEDの作成技術とタムラ製作所が開発した紫外領域に透明で高い電気伝導性をもつ酸化ガリウム基板とその基板上窒化物結晶成長技術を組み合わせて、ワットクラスのUVB-LEDの実現を目指しており、これらの技術についても紹介する。
16:30〜17:00 名刺交換会
備 考 テキストの他に、サブテキストとして月刊OPTRONICS 2017年1月号(特集:UV技術)を配布いたします。
※上記プログラムは2017年1月30日時点のものです。予告なく変更される場合もございますので、予めご了承下さい。

受講料・申込方法 他

受講料 ■一般:\37,800(税込)

■月刊OPTRONICS 定期購読者:\32,400(税込)
 お申込みの際に読者番号(雑誌送付の宛名ラベルに記載)をご記入下さい。
 注)団体でご購読の場合は、団体内で2名様に限ります。

■定期購読(1年)と一緒に申し込み:\32,400 + \11,880(税込)
 ※購読期間は2017年2月号から1年間です。(1月号は特典で贈呈いたします)
 ※購読料(\11,880)は別途請求書をお送りいたします。
 ※雑誌送付先やご希望の開始号等、ご要望がございましたら備考欄にご記入ください。
定員 50名(定員になり次第締切、ただし開催1週間前までに最少催行人数10名に達しない場合は開催中止にすることがあります。)
申込方法 下部にあります、お申込みフォームよりお申込み下さい。
受付が完了しましたら、受講票と請求書を郵送致します。お支払いは指定の金融機関にセミナー開催前までに受講料をお振込み下さい。
受講票は当日ご持参下さい。
キャンセル
規程
お客様のご都合による受講解約の場合、2/17(金)までは受講料の50%、2/18(土)以降につきましては受講料の全額を解約金として申し受けます。
主催 月刊 OPTRONICS
お問合せ (株)オプトロニクス社 担当:三島
Tel:(03)3269-3550 E-mail:mishima@optronics.co.jp
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