出展の見どころ
| （株）ウィックス | ||
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光学薄膜フェア No. A-22 |
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| 〒244-0002 | ||||||||||||||||
| 神奈川県横浜市戸塚区矢部町12-1 さのやﾋﾞﾙ2F | ||||||||||||||||
| URL：http://www.wexx.jp | ||||||||||||||||
| ● 担当 | ||||||||||||||||
| 営業技術部 | ||||||||||||||||
| TEL：045-870-4784 FAX：045-870-4783 | ||||||||||||||||
| ● 出展の見どころ | ||||||||||||||||
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【弊社出展製品概要】
◎真空中パーティクルモニター（排気ライン測定ディスプレイ） ◎インフィコン社製 ・水晶振動子 ・質量ガス分析計（RGA） ・膜厚コントローラ、モニター、センサー |
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| ● 出展製品 | ||||||||||||||||
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真空中パーティクルモニタ 大気～真空中のパーティクルをモニターします。①プロセスチャンバーあるいは排気ラインへの挿入、②チャンバー内への設置に対応し、パーティクルをリアルタイムで計測できます。パーティクル発生状況を監視することで、歩留・品質を左右するパーティクルの対策にご活用頂けます。 |
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インフィコン社製質量ガス分析計（RGA） インフィコンTranspectorシリーズは、業界最先端性能で、プロセス改善、工程管理に寄与します。用途に応じ蒸着向けMPS/MPH、スパッタ向けXPR3+、複合プロセス向けCPMを取り揃えています。 |
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インフィコン社製水晶振動子、膜厚コントローラ・モニター・センサー 金、銀、アルミ合金電極の3種類各5MHz、6MHzと、各種膜厚センサー、複雑なプロセスに対応した膜厚コントローラから手軽にご活用頂ける膜厚モニターまでラインナップを取り揃えています。 |
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| ● ブース訪問予約／お問合せフォーム | ||||||||||||||||
お問合せメールを送信いたしました。
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