出展の見どころ
| THKプレシジョン（株） | ||
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Photonics Innovation 2026 No. G-20 |
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| 〒144-0042 | ||||||||||||||||
| 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102 | ||||||||||||||||
| URL：https://www.thkprecision.co.jp | ||||||||||||||||
| ● 担当 | ||||||||||||||||
| 営業部 | ||||||||||||||||
| TEL：03-5735-5086 FAX：03-5735-5087 | ||||||||||||||||
| ● 出展の見どころ | ||||||||||||||||
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”nm～サブμm”レベルを実現する超精密位置決めステージと、mgレベルの高感度フォースセンサを展示
※デモ実施：ピエゾステージ、フォースセンサの動きをご覧ください デバイスの微細位置調整、ミラー・レンズの光軸合わせ等、研究開発から装置組込みまで最適なソリューションをご提案 半導体、フォトニクス、分析計測、SPM、微細加工、バイオなどで要求される高精度ポジショニングについてぜひご相談ください |
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| ● 出展製品 | ||||||||||||||||
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超精密位置決めピエゾステージ 1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』シリーズ 直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップ 真空、非磁性などの特殊環境でのカスタマイズにも対応 用途例：精密位置決め、干渉計、光学ミラー・レンズ微調、ビームステアリング、細胞観察、ファイバー調芯など 様々なお客様のご要望に対応検討し、多くのカスタム対応も行っています |
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精密モータステージ 20nm分解能動作と数十mmストロークを両立した、ピエゾモータ駆動位置決めステージ ＜特徴＞ ・リニアスケール内蔵で高い位置再現性 ・真空対応可能 ・摩擦保持され静止時の安定性が高い ・自己発熱が小さい 光学・半導体・精密測定分野での高精度位置決めに最適 |
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微小力センサ μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』 軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置へ幅広く組み込み可能です。 ＜使用例＞ ・プローブの接触検知 ・微小デバイスの引張り、圧縮力 ・微小摩擦力測定 |
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| ● ブース訪問予約／お問合せフォーム | ||||||||||||||||
お問合せメールを送信いたしました。
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