出展の見どころ

（株）トーカイ
	Photonics Innovation 2026　No. G-08

〒351-0022

埼玉県朝霞市東弁財2-1-16

URL：https://www.tokai-inc.jp/

● 担当

営業部

TEL：048-451-3393　FAX：048-451-3394

● 出展の見どころ

おかげさまで弊社は創立50年を迎え創業から真空薄膜加工のプロフェッショナルとして高精度・高付加価値製品をお届けする成膜メーカーです。 250nm～15μmまでの幅広い波長とガラスをはじめ樹脂やフィルムなどの様々な基材への成膜が可能です。近年はフォトリソ技術を用いたパターニング成膜も対応も可能です。また本社工場の増築も完成し生産能力も更に向上しておりますので是非とも弊社ブースへお越しくださいませ。

● 出展製品

半導体新製品
レーザー用ウィンドウ

新たな開発品としてレーザー用ウィンドウのご紹介となります。
特に266nmのYAGレーザー向けとして開発に力を入れ従来の2倍(当社比)となる高レーザー耐性を実現しました。
詳しくは弊社ブースにてご紹介致します。

半導体新製品
自動外観検査装置導入

本社工場増築完成に伴い大型基板向け自動外観検査装置を導入いたしました。
最大Φ300mm基板の表面欠陥検査を自動で行い品質向上に貢献いたします。

パターン成膜

メタルマスクによるパターン成膜では境界線のボヤケが生じると共に微細パターンの対応は難しくなります。トーカイではフォトリソ技術を活用する事で最大1μmまで加工する事が可能です。対応最大サイズはφ6インチまで、基板厚さは25㎜まで対応可能でありプリズムに対するパターン成膜も実施しております。膜種は誘電体多層膜の他、金属膜も可能でガラス基材は勿論の事、樹脂やフィルム、曲率のあるレンズへの対応も可能です。

機能性薄膜

トーカイでは光学系フィルター以外にも、撥油膜・バリア膜・電磁波シールド膜・抗菌コート・加飾膜など各種機能性薄膜製品もご提案しております。光学系フィルターとの組み合わせなど様々なバリエーションにも対応しており、より付加価値の高い製品を提供させて頂く事が可能です。

赤外域バンドパスフィルター

赤外域に対し最長15μm域までの誘電体多層膜フィルターをご提案する事が可能です。近赤外線～遠赤外線領域のバンドパスフィルターは光通信、産業機器、医療機器、ガス濃度センサーなど幅広く使われている光学部品になります。また、当社は赤外線領域の評価に用いる赤外分光高度計を所有しており、お客様が安心してご利用いただける様、品質保証体制も整えております。

金属スパッタ膜

トーカイのスパッタによる金属膜は、3次元形状へのコートが可能でありながら、PC・PET・PBT・ABS・PMMA・COP・ COC等の樹脂をはじめ、ガラスや金属、シリコンウェハなどへも対応致します。直近では紙に対してアルミ成膜をするなど更に対応力を広げており、Al・Ag・Cr・Cu・Tiなどの金属ターゲットの他、NbOX・TiOX・SiO2・ZrO2などの酸化物ターゲットも各種対応可能です。

光学フィルター（誘電体多層膜）

ダイクロフィルター、バンドパスフィルター、ノッチフィルター、偏光ビームスプリッタ、IRカットフィルター、レーザー用ARコート、感度フィルターなどをお客様が必要する仕様に合わせたカスタム対応を行います。お客様の使用シーンにマッチしたフィルターを1枚の小ロット生産から大量生産まで数量に関わらずご提案致します。

抗菌機能付き反射防止膜

医療機器やタッチパネルで使用される硝子基板、樹脂基板へマルチARコートの機能と抗菌性能を付与した抗菌ARコートとなります。抗菌性能は黄色ブドウ球菌、大腸菌の増殖を抑制する事が可能です。抗菌性能を維持したまま最終層にAFコートを施す事も可能です。ARコートの他、誘電体多層膜との組み合わせも可能です。※JIS Z 2801 抗菌加工製品－抗菌性試験方法　試験機関：一般財団法人カケンテストセンター

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