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<用語解説>

ケーラ照明 Koehler Illumination

 源の像を集光レンズ投影レンズ位置に結像させる照明方式。源像はスクリーン上で結像することなく広がって投影されるので、照明ムラが少なく均一な照明系になる。このため、プロジェクタ、投影機、映写機などの照明系に使われる。ステッパもこの照明系を基本としているが、より照明ムラを少なくするために、集光レンズレンズアレイを用いている。顕微鏡もこの照明が基本形であるが、クリティカル照明にする場合もある。

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