＜用語解説＞

照明系 Illumination System

　ステッパ(投影露光装置)、投影検査機、プロジェクタ、顕微鏡、加工装置などの光学装置の対象物を照明するシステム。それそれの装置の目的に応じた照明系のタイプがある。明るさが要求される装置にはクリティカル照明が良いが、光源のむらが出やすい欠点がある。明るさの均一さが要求される装置にはケーラ照明が適しており、プロジェクタの照明系に用いられている。テレセントリック照明は、像がぼけても(ピントがずれても)倍率誤差が出にくい特徴があり、投影検査器に用いられている。

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