光学薄膜

2016年11月16日(水) 13:10-16:30  科学技術館 6F 第一会議室
【TF-1 コース】 光学薄膜基礎講座(1)

分光光度計、FTIR、ラマン 基礎と固体材料の最新測定事例

日本分光(株) 鈴木 仁子
 紫外可視分光光度計、FTIR、レーザラマン分光光度計の基礎と固体材料に関する最先端の測定事例を紹介します。
 基礎では各装置の基本原理や得られる情報の違いについて話します。
 最先端の測定事例では、紫外から赤外光を用いた膜厚計測、紫外可視分光光度計による AR コートや誘電体多層膜ミラーの低および高反射率測定、FTIR による有機薄膜の配向測定、レーザラマン分光光度計による半導体の応力測定など、近年お客様からのご要望が増えている測定について、様々な分光分析技術を用いた最新の測定システムと測定手法を紹介します。
難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)

各種光学薄膜の材料選択や注意点

メルク(株) 山口 尚暁
 真空蒸着法は薄膜の生産に使用され、多くの工業分野で採用されています。光学分野では、レーザーミラー、干渉フィルター等の製造に100層を越えるような高度なコーティングが用いられ、反射防止膜コーティングは眼鏡レンズ、高機能サングラス、カメラ双眼鏡等に応用されています。また最近ではアプリケーションによって、様々な耐久性が求められております。特に紫外や赤外領域では材料の選択が限られ、高耐久な膜を作成するために、蒸着材料や蒸着手法の選定が重要です。
 本講演では、反射防止膜や各種フィルターの基礎について述べ、それを基に具体的な設計例、設計上顧慮すべき各種薄膜の応力挙動や、注意点について、各種混合物材料の使用例を含めてご紹介致します。
難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
光学薄膜コーティング業務に携わって1~2年程度の知識のある方。 

光学薄膜を必要とする光学部品とアプリケーションの最新動向
及びPVDに変わる成膜手法の可能性

(株)昭和真空 瀧本 昌行
 光学薄膜を必要とする部品は年々増加しております。現在市場を牽引しているアプリケーションはスマートフォンですが、近年LEDや自動車にも光学薄膜は積極的に活用
されはじめております。スマートフォンのカメラモジュール用レンズは薄型化に伴ない
複雑な形状となり、より高度な成膜技術が必要となってきている上にデュアルカメラ化への移行が予想され、大幅な増産が期待されております。また、自動車には多くのカメラモジュールが搭載され、ナイトビジョン用赤外線カメラやHUDなどこれから広く普及する部品が量産され始めております。さらに今後大きな成長が期待されるHMD用光学部品は極めて形状が複雑かつ大型であり新しい技術が必要になると考えられます。
 これらの新しい光学関連部品の技術概況や市場概況、また今後の動向についてお話させて戴き、さらに現状大半を占めるPVDに変わる成膜手法の可能性についてご提案させて戴くことで光学薄膜関連業務に携わる方々の今後の開発テーマ検討などに少しでもお役に立てればと思います。

光学材料の光拡散(透過)性評価 ~分光光度計測定法の新規ISO~

(株)メイショーテクノ 大西 晃宏
 光学材料の光拡散(透過)性の評価方法として、ISOやJISの規格では、高価なレーザーシステムやHAZEメーターを用いる方法がある。
 レーザーシステムによる方法(ISO13696)は低散乱光の測定を得意としているが、単波長の計測だけでも高価なシステムをISO 13696に準拠して設計する必要があり、また分光スペクトルを取得するには各波長のレーザーが必要となる。
 一方、HAZE(ISO 14782)では、視感度係数を用いることによって本来の散乱率ではなくHAZEの値として計測いること、市販のHAZEメーターでは分光スペクトルを取得できないことや、低散乱の場合は検出できないことがあった。
 新しくISOとして検討されている測定法は、汎用的な分光光度計を用いているため、レーザーシステムのような特殊で高価な装置を用意する必要はない、また、HAZEメーターのように視感度係数を使用することもなく、分光スペクトルとして直接的に、また各波長の特性を評価することができる。本講演では、新規ISOの測定法について詳細を述べるとともに従来法との違いについて説明する。
難易度:初級程度(大学専門程度、基礎知識を有す)
受講料(1コース/税込)
  一般 出展社・協賛団体会員 定期購読者 新規定期購読同時申込 シニアクラブ 学生
◎価格A ¥13,000 ¥10,000 ¥9,000 ¥9,000 ¥3,000
2016年11月17日(木) 09:30-12:25  科学技術館 6F 第一会議室
【TF-2 コース】 光学薄膜基礎講座(2)

薄膜の密着性と耐摩耗性評価に関して

(株)レスカ 宝泉 俊寛
 光学薄膜を中心に、PVD・CVD等により形成された各種薄膜の密着性評価法としてマイクロスクラッチ試験法(JIS R-3255)と耐摩耗性評価法としてピンオンディスク法(各種試験規格有)の測定原理紹介と測定事例解説を行います。

 外部刺激(外力)に対し薄膜が剥がれる強度(密着性)を評価するマイクロスクラッチ試験法では、膜厚10nm薄膜の評価事例や、各種樹脂基材上のARコーティングの評価結果から、スクラッチ法の測定結果に及ぼす基材硬さや温度及び表面摩擦係数(AFコーティング等)の影響を解説いたします。
摩擦摩耗評価法においては、耐摩耗性に対する湿度の影響を検証した評価事例を紹介。

 又、スクラッチ試験法における密着性評価が加圧力が支配的な評価法であるのに対し、摩擦力及び摺動数(摩耗)の影響を受ける耐摩耗試験下における剥離破壊検出と評価については、光学薄膜以外にもDLC薄膜の測定事例と合わせて解説いたします。
難易度:一般的(高校程度、一般論)

分光光度計の原理と測定の基礎

(株)日立ハイテクサイエンス 栗田 浩二
分光光度計の原理(光学系等)を説明します。また様々なサンプルの測定における注意点やコツなどを取り上げます。そして自分で実施出来る装置の性能確認(波長正確さ、測光正確さ等)についても説明致します。

高スループット光学薄膜用スパッタリング装置

(株)オプトラン 並木 恵一
次世代モバイル機器に必用とされる各種光学フィルタの生産に求められる製造装置用として注目されているスパッタリング装置を紹介する。
受講料(1コース/税込)
  一般 出展社・協賛団体会員 定期購読者 新規定期購読同時申込 シニアクラブ 学生
◎価格A ¥13,000 ¥10,000 ¥9,000 ¥9,000 ¥3,000
2016年11月17日(木) 13:10-16:05  科学技術館 6F 第一会議室
【TF-3 コース】 光学薄膜基礎講座(3)

光学薄膜の設計基礎理論

(株)オプトグリーン/宇都宮大学 生水 利明
 本講演では広範な分野で利用されている光学薄膜を製品化する上で必須な光薄膜の設計基礎理論について反射防止膜を中心に紹介する。反射防止膜は光学薄膜の中で最大のニーズを有しておりレンズ等の光学部品には必須であり、最近ではディスプレー等の視認性向上技術としても欠かせないものとなっている。
難易度:入門程度(大学一般教養程度)

高品質な光学薄膜を実現する最新の蒸着、スパッタ技術

(株)シンクロン 宮内 充祐
 本講演では低散乱、低応力、高レーザー耐性など光学薄膜の高品質化を可能とする最新の蒸着、スパッタ技術、装置を紹介する。
難易度:入門程度(大学一般教養程度)

光学薄膜の外観および各種特性の評価

東海大学 室谷 裕志
デジタルカメラや携帯電話・スマートフォンのカメラ等の撮像製品において、高感度と高画質化はますますすんでいます。それに伴い、光学薄膜に求められる品質も年々厳しいものとなってきています。光学薄膜は分光特性が仕様を満たすことは当然ですが、高度化した製品の中で用いられるときには、外観品質や機械的特性も重要になってきます。また、光学薄膜の層数の増加と赤外線領域での応用などにおいて、応力を制御する必要性も増えています。
 異物、白濁などの外観品質については、成膜条件などの成膜プロセスだけでなく、基板の表面状態、洗浄工程などの製造工程の影響を考慮する必要があります。また、検査工程で見つけることができなければ、製造工程へのフィードバックもできません。本セミナーでは、光学薄膜の欠陥、特に外観品質の分析について分析方法(SEM、 EDX、 XPS等)の実例を踏まえて、データの解析、方法、注意点等をご紹介いたします。また、膜の硬さ、密着性などの機械的特性の評価方法や低応力化についての考え方なども紹介します。
難易度:入門程度(大学一般教養程度)
受講料(1コース/税込)
  一般 出展社・協賛団体会員 定期購読者 新規定期購読同時申込 シニアクラブ 学生
◎価格A ¥13,000 ¥10,000 ¥9,000 ¥9,000 ¥3,000
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