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<用語解説>

超解像 Super Resolution

 光学系が伝達できる情報の解像度は、光学系開口数波長で制限される限界がある。理論的解像度の限界を超えた解像度を実現する方法を超解像という。古くは超解像フィルタのように、入射瞳に入射する光束のうち、中心部分の光束をカットし、0次の回折結像に寄与させない方式を超解像と称していたが、最近では理論解像度限界を超え、解像度を向上させる方法をすべて超解像と呼ぶようになってきている。超解像技術を大きく分類すると、限界解像度を向上させる技術とコントラストを向上させる技術の二種がある。解像度を向上させる方式には、位相シフトマスク共焦点顕微鏡多重露光方式、超解像フィルタなどがあり、コントラストを向上させる方式には、アポダイゼーションハーフトーンマスク、斜入射照明方式、光ディスク再生の遮帯方式、位相差顕微鏡などがある。

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