ポジショニング応用技術セミナー

2023年04月19日(水) 09:30-12:25 アネックスホール F203
【PE-1 応用分野から見たピエゾ技術

位置決めステージへの応用

ピーアイ・ジャパン(株) 技術部 エンジニア 市岡 伸也 氏 / 小野 憲士 氏
ピエゾは高分解能、高速応答性、高剛性、高発生力などメリットがあり、半導体製造装置や顕微鏡、各種試験機など様々な分野で利用されます。
またピエゾアクチュエータは摩耗を起こさず潤滑剤も不要であり、磁界に影響しない駆動原理であるため、高真空や非磁性が求められる環境にも適用可能です。

近年では半導体の微細化やシリコンフォトニクスをはじめとした光学分野において位置決め精度への要求は一層高まっており、ピエゾステージをはじめとした位置決め技術の重要度は増しております。

PI社はドイツを本拠地としてピエゾ素子の研究、生産からポジショニング装置の開発・製造まで一貫して行う世界的な大手サプライヤーであり、日本においても長年にわたり国内の様々な産業界や研究分野へ位置決め装置を提供しています。

今回の講演ではこれらのピエゾを用いた位置決めステージが持っている特徴や、アプリケーション事例について紹介いたします。
●難易度:入門程度(大学一般教養程度)

超⾳波振動を⽤いた⽪膚感覚提⽰

埼玉大学 大学院理工学研究科 教授 高崎 正也 氏
人がものを手で触ったときにその対象物を認識するための感覚を触覚と呼んでいると思います。この感覚は二種類に分類でき、表面の模様や質感を認識する感覚は皮膚感覚と呼ばれています。

近年、この感覚を提示する(視覚のための液晶ディスプレイや聴覚のためのスピーカに相当するもの)技術が注目を集めています。これまでにいくつかの原理が提案されていますが、本講演では超音波振動を用いた提示方法を紹介します。
超音波振動の一種である、弾性表面波を利用しています。この波を励振するための基本的な構造とそれを利用した皮膚感覚提示方法をご説明します。

デバイスを透明とすることができると、液晶ディスプレイなどと併用し、見て触って情報を享受することができるようになります。これを目指した、透明な超音波振動子の開発へ向けた取り組みについてご紹介します。
鉛筆で画用紙に線を描くと鉛筆の振動を「かきあじ」として感じることができます。この感触を提示することのできる、ペンタブレットタイプへの発展について説明します。
また、デバイス開発において重要となる周波数帯域の考え方についてもご紹介します。
●難易度:入門程度(大学一般教養程度)

ドローンに使われているセンサー

大同大学 大学院理工学研究科 教授 橋口 宏衛 氏
ドローンの飛行制御には、様々なセンサが使われています。
姿勢を制御するためのセンサ、位置や高度を制御するためのセンサ、空撮や測量ではカメラも使います。
もちろんピエゾ素子も使われていますが、単一のセンサで使われることは少ないのが現状です。

ポイントは「センサ・フュージョン」です。ジャイロセンサ+加速度センサなどの組み合わせで、お互いの欠点を補い合っています。

本講演では、ドローンの仕組みや飛行原理を紹介し、そこに使われているセンサ、そしてセンサ・フュージョンのアルゴリズムを解説します。
●難易度:一般的(高校程度、一般論)
受講料(1セッション/税込)
一般 出展社/主催・協賛団体会員 月刊オプトロニクス定期購読者/シニアクラブ会員 学生
¥18,000 ¥15,000 ¥9,000 ¥5,000

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市岡 伸也

ピーアイ・ジャパン株式会社

技術部 エンジニア

室蘭工業大学大学院にて材料工学を専攻し機能性セラミックスの研究により2017年に修士課程修了。その後、機械系商社に入社し国内メーカーやプラント向けに営業を4年間行う。この間、多種多様な産業機械及び試験機を販売し広い分野での製品知識を培う。現在はピーアイ・ジャパンにて技術営業としてPI製品の提案・選定および製品検査、アフタービスに従事。

高崎 正也

埼玉大学

大学院理工学研究科 教授

1996年3月 東京大学工学部精密機械工学科卒業
1998年3月 東京大学大学院工学系研究科 修士課程 修了
2001年3月 東京大学大学院工学系研究科 博士課程 修了
2001年4月~2006年3月 埼玉大学工学部 助手
2006年10月~2007年3月 埼玉大学大学院理工学研究科 助教授
2012年4月~ 埼玉大学大学院理工学研究科 教授

橋口 宏衛

大同大学

大学院理工学研究科 教授

2006年4月 立命館大学院 理工学研究科 博士後期課程 修了
2006年4月 大同工業大学工学部ロボティクス学科 講師
現在に至る

●主な役職
あいちロボット産業クラスター推進協議会 無人飛行ロボットWG 座長
国土交通省中部地方整備局中部圏インフラロボットコンソーシアム 役員
東三河ドローン・リバー構想推進協議会 アドバイザー
日本ドローン コンソーシアム中部地域部会 技術顧問