設計ソフトウェアは光学薄膜を成膜する上で必須のツールであるが、そのソフトウェアで可能な計算項目だけを見て性能を比較していても、どのソフトウェアが自社の成膜工程に適しているかを判断するのはむずかしい。
　本講演では、光学薄膜設計ソフトウェア「OptiLayer」をベースに未経験者、入門者が光学薄膜を設計・成膜するために、どのような手順で進めていけば良いのか、また、そのときに薄膜設計ソフトウェアをいかに活用するのか、できるのかを具体的に解説する。併せて、分光器で分光特性測定する場合の注意点についても簡単に述べる。
　　・成膜データの取得について
　　・膜の最適化設計とは
　　・成膜後の測定結果と設計との差異解析について
　　・分光特性の測定において注意するべきこと

　近年、デジタルカメラ、スマートフォンのカメラ等の撮像製品において、高感度、高画質化、小型化はますますすんでいます。それに伴い、光学特性と外観品質はますます厳しくなってきています。また、車の自動化運転に関わる製品についても光学薄膜に求められる品質も年々厳しいものとなってきています。光学薄膜は分光特性が仕様を満たすことは当然ですが、高度化した製品や高耐久の製品に組み込まれて用いられるときには、外観品質や機械的特性も重要になってきます。また、光学薄膜の層数の増加や赤外線領域での応用などにおいては膜の応力を制御する必要性も増えています。
　異物、白濁、シミなどの外観品質については、成膜条件などの成膜プロセスだけでなく、基板の表面状態、洗浄工程などの製造工程の影響を考慮する必要があります。また、検査工程で見つけることができなければ、製造工程へのフィードバックもできません。本セミナーでは、光学薄膜の欠陥、特に外観品質の分析について分析方法(SEM、 EDX、 XPS等)の実例を踏まえて、データの解析方法、注意点等をご紹介いたします。また、膜の硬さ、密着性などの機械的特性の評価方法や低応力化についての考え方なども紹介します。