光学薄膜の未経験者・入門者が実際に膜をするにはどのような手順で進めていけば良いのかを設計、成膜、結果のフィードバックの側面から具体的に解説する。目標とする分光特性目標を実現するためには光学薄膜設計ソフトウェアが不可欠であるが、ソフトウェアによって有している機能が異なっており使用する技術者の生産性や歩留りにも影響する。本講演では光学薄膜ソフトウェア「OptiLayer」を使用して
　　・成膜データの取得について
　　・膜の最適化設計方法について
　　・最適化設計結果の成膜条件への変換について
　　・成膜後の測定結果と設計との差異解析について
を実務的な内容を中心に具体的に解説する。

光学薄膜は様々な光学製品に用いられています。その中でも自動車の自動化運転に関わる各種光学センサーに用いられる光学薄膜は、カメラ等に求められていた以上の耐久性が求められています。また、デジタルカメラ、スマートフォンのカメラ等の撮像製品においては、高感度、高画質化、小型化はますますすんでいます。それに伴い、光学特性と外観品質はますます厳しくなってきています。光学薄膜は分光特性が仕様を満たすことは当然ですが、高度化した製品や高耐久の製品に組み込まれて用いられるときには、外観品質や機械的特性も今まで以上に重要になってきます。
異物、白濁、シミなどの外観品質については、成膜条件などの成膜プロセスだけでなく、成膜前の基板の表面状態、洗浄工程などの製造工程の影響を考慮する必要があります。また、検査工程や分析により結果を得たとしても正しく評価できなければ、製造工程へのフィードバックもできません。
このセミナーでは、光学薄膜の欠陥、外観品質、膜の構造評価などを分析方法(SEM、 EDX、 XPS、XRD等)の実例を踏まえて、データの解析方法、正しいデータを得るための注意点等をご紹介いたします。また、膜の硬さ、密着性などの機械的特性の評価方法や低応力化についての考え方なども紹介します。